序号

参数名称

技术要求

单位

性能参数

1

扫描检漏a

大气尘或人工尘，下游粒子浓度

粒/ L

≤3

DOP 法检漏，穿透率

％

≤0.01

2

引射作用．

大气尘或人工尘，下游粒子浓度(   O. 5µm)

粒/ L

≤10

DOP 法检漏 ，穿透率

％

≤0.01

3

风速

平均风速

单向流洁净工作台操作区平均风速

m/s

0.2-0.5

不均匀度

风速的相对标准偏差

％

≤20

4

进风风速

进风口设在洁净工作台操作人员腿部的进风口平均风速

m/s

≤1

5

风量

非单向流洁净工作台的换气次数

h-1

60-120

非单向流洁净工作台额定风量的波动范围

％

士20

6

空气洁净度

操作区的空气洁净度级别

级

洁净度 5 级(   HEPA) ;

优于洁净度 5 级（ULP   A）

7

沉降菌浓度

操作区台面平均菌落数（只对用于生物洁净用途的工作台有此要求）

cfu/ ( 皿 0. 5 h)

≤0.5

8

噪声

前壁板水平中心向外   300 mm, 且高于地面 1.1m 处的整机噪声

dB

≤65

9

照度

操作区台面上的平均照度（无背景照明）

lx

≥300

10

振动幅值

操作区台面几何中心的垂直净振幅

µm

≤5

11

气流状态

操作空间垂直气流试验（垂直单向流洁净工作台）

气流流线应垂直于台面或出风面，不得有死角和回流

操作空间水平气流试验（水平单向流洁净工作台）

气流流线应平行千台面或出风面，不得有死角和回流